志圣智能半導(dǎo)體芯片雙門雙控烤箱憑借其創(chuàng)新設(shè)計(jì)成為精密制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備。志圣智能是一家專注中高端固化干燥設(shè)備廠家，多年來給國(guó)內(nèi)外客戶提供整系列的半導(dǎo)體烘烤解決方案。

雙門雙控烤箱互鎖結(jié)構(gòu)通過氣壓差隔離技術(shù)實(shí)現(xiàn)潔凈區(qū)與裝卸區(qū)的物理分隔，確保開閉門時(shí)無(wú)交叉污染，潔凈度穩(wěn)定維持在ISO Class 4級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，滿足3D NAND閃存、碳化硅功率器件等高端芯片的封裝需求。

志圣智能半導(dǎo)體芯片烤箱支持雙溫區(qū)獨(dú)立控制系統(tǒng)支持同步運(yùn)行不同工藝曲線，例如前門區(qū)以150℃固化底部填充膠的同時(shí)，后門區(qū)可執(zhí)行260℃的引線鍵合后烘焙，生產(chǎn)效率較單門烤箱提升40%以上。智能風(fēng)道設(shè)計(jì)結(jié)合PID算法實(shí)現(xiàn)±0.5℃的溫控精度，配合石英加熱管的快速響應(yīng)特性，有效解決大尺寸晶圓（12英寸）烘烤時(shí)的邊緣效應(yīng)問題。